项目名称：上海市计量测试技术研究化学气相分解电感耦合等离子体质谱仪招标项目编号：2523-224GXGJ12013招标范围：化学气相分解电感耦合等离子体质谱仪 1台

1、自动晶圆表面处理器。

自动晶圆表面处理器主要是由PAD雾化器、PAD扫描装置、开放式晶圆匣座、机械手臂系统、晶圆装载机及其他相关配件所构成。

2、电感耦合等离子体质谱仪。

电感耦合等离子体质谱仪由半导体制冷雾化器、三重四级杆、电子透镜、检测系统和数据处理系统组成。

★3、12寸衬底材料：钾、钠、钙、镁、铝、铜、硼、磷、砷的检出限达到10E7atoms/cm2，其余元素做到10E6atoms/cm2，6寸-8寸材料：检出限为(10E7-10E8)atoms/cm2招标机构：上海公欣招标代理有限公司招标人：上海市计量测试技术研究院开标时间：2023-01-05 09:30公示开始时间：2023-01-05 16:31评标公示截止时间：2023-01-10 23:59中标候选人名单：候选人排名投标商名称制造商制造商国别及地区1香港电子器材有限公司PVA&赛默飞德国